'2024/09/05 글 목록

7.5.0 Wdep을 줄이는 방법 > MOSFET L이 작아지면 Vt Roll Off가 발생한다. > 짧아진 L을 사용할 수 있게 하기 위해선 Vt Roll Off를 제어해야 한다. > Wdep를 작게 하면 Vt Roll Off를 제어할 수 있다. > Wdep 는 기판 농도 Nsub의 1/(Nsub)^-1에 비례한다. > 기판 농도를 높여서 Wdep를 줄 수 있다. > 아래 식에서 기판 농도를 Wdep로 표현한 식에서 보면 Tox 또한 Vt Roll Off를 제어할 수 있는 Parameter이다. > Tox 또한 작아져야 짧은 L을 유지할 수 있다. > Wdep를 줄일 수 있는 다른 방법은 역경사 채널 도핑 프로파일을 도입하면 된다. > 아래는 도핑의 농도가 높게 표면엔 농..