5.0 MOS 커패시터(MOS Capacitor)

5.0 MOS 커패시터 

 > MOS는 Metal Oxide Semiconductor의 약자이다. 

 

 > 반도체 기판 위에 SiO2와 같은 절연막, Gate라고 부르는 금속 단자로 구성된다. 

 

 > 70년대 이전엔 Gate가 알루미늄 같은 금속 물질로 만들어지는 것이 일반적이었다. 

 

 > 70년 이후엔 고농도 이온이 주입된 폴리 실리콘을 Gate로 사용한다. 

 

 > 그 이유는 높은 온도에서 SiO2와 반응하지 않아 열적 안정성을 지니기 때문이다.  

 

 > 2008년 이후엔 다시 금속 Gate와 향상된 유전물질로 바꾸는 추세이다. 

 

 > MOS 자체로 널리 쓰이지 않고 MOS Transistor의 일부로 형성하여 기능하게 된다. 

 

그림 1. MOS 커패시터

 

Reference 

-. Chenming Calvin Hu, Modern Semiconductor Devices for Integrated Circuits, PEARSON(2013)