3.7 박막 증착(Thin Film Deposition)
3.7.1 결정 > 고체 물질은 단결정(Crystalline), 다결정(Polycrystalline) 혹은 비정질(Amorphous) 일 수 있다. > 단결정은 완벽한 주기적 구조를 가진 결정이다. > 다결정은 부분적인 단결정들인 Grain들이 모여서 만들어진 것을 의미한다. > 다결정의 단결정 부분들이 맞닿는 경계를Grain Boundary라고 한다. > 각 Grain은 10~10,000nm 크기를 갖는다. > 높은 온도에서 증착된 금속 박막과 Si 필름은 다결정에 속한다. > 다결정과 단결정 Si은 유사한 전기적 특성을 갖는다. > 비정질 물질으 원자들이 정렬되어있지 않다. > 낮은 온도에서 증착된 SiO2, SiN 그리고 Si는 이 범주에 속한다. > 비정질, 다결정 Si의 이동도는 단결정 Si 보..
Semiconductor(반도체)
2023. 8. 28. 22:53
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