3.3 리소그래피 (Lithography)
3.3.1 포토리소그래피 (Photolithography) > 반도체 구조물을 만들기 위해서는 쌓고(Deposition) 깎는(Etching)것을 반복하게 된다. > 원하는 구조물의 모양을 만들기 위해서는 선택적으로 깎아야 하는데 이 때 사용되는 것이 포토리소그래피다. > 빛을 이용해서 빛을 받은 부분은 깎이고 안 받은 부분을 깎일 수 있게한다. (반대도 가능) > 포토리소그래피는 사진 인화하는 방식과 매우 유사하다. a. HDMS Coating > 포토리소그래피를 하기 위해서는 먼저 HDMS를 Spit Coater로 균일하게 발라준다. > Si 웨이퍼를 Spin Coater에 고정시키고 액체를 도포 후 웨이퍼를 Spin을 해주면 웨이퍼 전체적으로 균일한 두께로 액체가 발린다. > HDMS는 Si의 표면..
Semiconductor(반도체)
2023. 8. 22. 23:57
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